超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)是一款直徑300mm、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進(jìn)而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件，可在勻膠后進(jìn)行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計(jì)控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內(nèi)，在勻膠時(shí)保護(hù)膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠*大圓晶尺寸為12英寸，轉(zhuǎn)速可達(dá)3000rpm，加速度可達(dá)2000rpm；具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動(dòng)迅速，操作方便等優(yōu)點(diǎn)，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品.

加熱勻膠機(jī)產(chǎn)品特征：

1. 采用直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制

2. 高清晰觸摸屏控制

3. 可進(jìn)行單步多步勻膠操作，可存儲(chǔ)五種程序，每種程序可設(shè)置五步操作

4. 防堵膠設(shè)計(jì)

5. 鋁合金腔體，堅(jiān)固耐用

6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進(jìn)行多種輔助

超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	超聲波輔助氣氛勻膠機(jī)
圓晶尺寸	12英寸
旋轉(zhuǎn)速度	30~3000rpm可調(diào)
旋轉(zhuǎn)加速度	30~2000rpm/s可調(diào)
單次*長勻膠時(shí)間	3000s
勻膠腔體尺寸	φ390mm*90mm
電壓	220V 50Hz
功率	1.5KW
加熱溫度	0-100℃
質(zhì)保時(shí)間	易損件除外，1年，終身技術(shù)支持
勻膠機(jī)真空吸盤	12寸 一個(gè)（標(biāo)配）；6寸 一個(gè)（定制）
勻膠機(jī)定制純機(jī)械卡盤	12英寸 一個(gè)（額外定制）；6英寸 一個(gè)（額外定制）
無油真空泵	型號(hào)：AP-2000V 功率：0.55kw *低真空度：-700mmHg；-92Kpa *大空氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg

超聲波系統(tǒng)

注射泵

流量計(jì)