0371-5536 5392 0371-5519 9322
一、設(shè)備性能：
鍍膜設(shè)備以金屬/有機(jī)源蒸發(fā)為主體，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等，整套設(shè)備操作簡(jiǎn)便，綜合功能多，擴(kuò)展空間大，適合及滿足大專院校的教學(xué)與科研工作。
二、設(shè)備基本結(jié)構(gòu)：
鍍膜設(shè)備由真空室腔體，金屬/有機(jī)源系統(tǒng)，樣品臺(tái)系統(tǒng)，真空泵機(jī)組，膜厚檢測(cè)系統(tǒng)，設(shè)備機(jī)架，電控系統(tǒng)組成，真空室前門可與手套箱對(duì)接，采用一體化的設(shè)計(jì)方案，整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡(jiǎn)潔，避免實(shí)驗(yàn)設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。
三、設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：
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1. 真空室腔體 |
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外形 |
** 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm，前后雙開門，后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套； |
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底部 |
金屬源接口 2 套，有機(jī)源接口 4 套， 復(fù)合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套； |
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頂部 |
樣品臺(tái)接口 1 套，電動(dòng)擋板接口 1 套，高真空氣動(dòng)擋板閥接口 1 套 |
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左側(cè) |
超高真空氣動(dòng)擋板閥接口 1 套 |
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2. 金屬/有機(jī)源系統(tǒng) |
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金屬蒸發(fā)源 |
金屬蒸發(fā)源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動(dòng)擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺(tái)（數(shù)字顯示），電流調(diào)整精度 1A（微調(diào)），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍； |
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有機(jī)蒸發(fā)源 4 套 |
有機(jī)蒸發(fā)源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺(tái)（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區(qū)間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動(dòng)擋板； |
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隔板 |
蒸發(fā)源相互獨(dú)立，隔板分隔，避免交叉污 |
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3. 樣品臺(tái)系統(tǒng) |
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基片旋轉(zhuǎn) |
轉(zhuǎn)速 0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào) |
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基片升降 |
電動(dòng)升降，襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過(guò)觸摸屏連續(xù)可調(diào)； |
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樣品臺(tái) |
圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片 |
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基片擋板 |
電動(dòng)擋板 |
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4. 真空泵機(jī)組 |
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真空泵機(jī)組 |
1) 600L/s分子泵 1 臺(tái)； 2) 8L/s雙級(jí)泵 1 臺(tái) 3) CF150 氣動(dòng)超高真空插板閥 1 臺(tái)； 4) CF40 超高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺(tái)； 5) KF16 高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺(tái)； 6) KF40 高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺(tái)； 7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺(tái)；
8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套； |
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5. 膜厚檢測(cè)系統(tǒng) |
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膜厚儀 |
三通道石英晶振膜厚監(jiān)測(cè)儀 1 套； |
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膜厚探頭 |
CF35 水冷膜厚探頭 3 套 |
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6. 設(shè)備機(jī)架 |
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1) 40 碳鋼方管焊接機(jī)架 1 套，表面噴塑； 2) 萬(wàn)向輪 4 件，移動(dòng)調(diào)整； 3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位 |
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7. 電控系統(tǒng) |
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金屬源蒸發(fā)源氣動(dòng)擋板 |
2套 |
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金屬蒸發(fā)源電源1kw |
1套 |
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有機(jī)源蒸發(fā)源氣動(dòng)擋板 |
4套 |
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有機(jī)蒸發(fā)源電源 |
2套（1帶2） |
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烘烤照明電源 |
1 臺(tái) |
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樣品臺(tái)電動(dòng)擋板 |
1套 |
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總控制電源 |
1套 |
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PLC 控制 |
配觸摸屏 |
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8.手套箱 |
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腔體尺寸 |
L1200* W750* H900mm |
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手套 |
3只 |
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大過(guò)渡艙 |
內(nèi)徑360mm, 長(zhǎng) 600mm |
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小過(guò)渡艙 |
內(nèi)徑150mm, 長(zhǎng)300mm |
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9. 其他技術(shù)參數(shù) |
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1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)，聯(lián)動(dòng)互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2) 供電：～220V 兩相供電系統(tǒng)（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃； 4) 供氣：小型無(wú)油靜音氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥門； 5) 極限真空：優(yōu)于 6×10-5Pa，大氣至 6×10-4Pa 時(shí)間小于 35 分鐘（充干燥氮?dú)猓P(guān)機(jī) 12 小時(shí)真空度≤10Pa。 |
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