針對SIPOL、COPOL等半導(dǎo)體CMP材料,在精密平面研磨和拋光應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁┩暾闹悄芑a(chǎn)線解決方案,助力打造智能工廠。
性能穩(wěn)定,分散性好,不易產(chǎn)生沉淀或結(jié)晶
超高研磨細(xì)度,滿足細(xì)、中、粗不同研磨需求
精確控制磨料硬度、粒徑、形狀、濃度等各要素
可根據(jù)需求實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線專用化、定制化
全面智能監(jiān)控追溯,無人化、數(shù)字化、智能化