TN-O1200-50IT-3Z-HV1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵組構(gòu)成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來(lái)控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專(zhuān)業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率，1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計(jì)高真空CVD系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

應(yīng)用范圍：高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)

名稱	1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)
型號(hào)	TN-O1200-50IT-3Z-HV
參數(shù)	1、供電電源：AC:220V 50/60Hz 2、爐管  材質(zhì)：高純石英; 尺寸：直徑50mm（可選配60mm、80mm、100mm）、長(zhǎng)度800mm（爐膛長(zhǎng)度：440mm） 3、加熱區(qū):長(zhǎng)400mm;  恒溫區(qū):長(zhǎng)200mm 4、工作溫度:0～1100℃; 控溫精度:±1℃;  5、控溫模式:30段或50段程序控溫 6、顯示模式:LCD 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 8、可抽真空：4.4E-3Pa 9、供氣系統(tǒng)：TN-3Z  3通道氣體通道      測(cè)量部件：氣體質(zhì)量流量計(jì)      測(cè)量量程：A通道：0～100SCCM    H2氣                      B通道：0～300SCCM    N2氣                      C通道：0～500SCCM    Ar氣  備注：如需其它量程或氣體種類(lèi)，定貨時(shí)需特別注明。根據(jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。     測(cè)量精度：±1.0%F.S     管道耐壓：3MPa     工作壓差：50～300KPa     連接管道：304不銹鋼     控制閥門(mén)：304不銹鋼針閥     接口規(guī)格：進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭     供電電源：AC:220V 50/60Hz 10、排氣系統(tǒng)：產(chǎn)品型號(hào)TN-GZK103-A      分子泵 TN-600     前極泵：旋片泵;         抽氣速率分子泵：600L/S   旋片泵：1.1L/S（  綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa）       抽氣接口:KF40; 排氣接口:KF16      真空測(cè)量復(fù)合真空計(jì)：電阻規(guī)+電離規(guī)      極限真空:1.0E-5Pa      供電電源：AC220V 50/60Hz

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